E11 · S&A CWFL (T-506/T-507)

Alarme de débit du liquide de refroidissement sur la ligne de la source laser

Causes

  • Débit d’eau insuffisant dans le circuit de la source

Solutions

  1. Nettoyer le filtre grossier
  2. Vérifier que les flexibles ne sont pas pliés
  3. Vérifier le capteur de débit