E4 · S&A CWFL (T-506/T-507)

Allarme temperatura eccessivamente alta della linea testa.

Causes

  • Surriscaldamento del circuito di raffreddamento della testa laser e dell'ottica

Solutions

  1. Soffiare le griglie e il radiatore.
  2. Verificare la presenza di refrigerante nel compressore del chiller.
  3. Pulire il filtro di sgrossatura.
  4. Verificare il livello del liquido di raffreddamento.