Alarme de température excessivement élevée sur la ligne de la source laser.

Causes

• Surchauffe du circuit de refroidissement de la source laser

Solutions

1. Souffler les grilles et le radiateur.
2. Vérifier la présence de réfrigérant dans le compresseur du chiller.
3. Nettoyer le filtre de dégroissage du liquide de refroidissement.
4. Vérifier le niveau du liquide de refroidissement.