E13 / E17 · Tongfei TFLW / CWFL-4000+

Allarme livello flusso del liquido refrigerante della linea sorgente laser

Causes

  • Intasamento del filtro o della tubazione della linea sorgente laser

Solutions

  1. Verificare la pressione sul manometro.
  2. Pulire il filtro di sgrossatura.
  3. Controllare i tubi flessibili e il sensore di flusso.