Alarm poziomu przepływu cieczy chłodzącej linii źródła lasera

Causes

• Zatkanie filtra lub magistrali linii źródła lasera

Solutions

1. Sprawdzić ciśnienie na manometrze.
2. Wyczyścić filtr wstępny (grubego oczyszczania).
3. Sprawdzić węże i czujnik przepływu.