ER01 · Hanli (ER01-ER08/AO/FO)
Alarme de débit du liquide de refroidissement du circuit de la source laser
Causes
- Débit d'eau insuffisant sur le circuit de la source
Solutions
- Nettoyer le filtre à grosses particules du liquide de refroidissement
- Vérifier les flexibles
- Vérifier le débitmètre