ER01 · Hanli (ER01-ER08/AO/FO)

Alarme de débit du liquide de refroidissement du circuit de la source laser

Causes

  • Débit d'eau insuffisant sur le circuit de la source

Solutions

  1. Nettoyer le filtre à grosses particules du liquide de refroidissement
  2. Vérifier les flexibles
  3. Vérifier le débitmètre