ER01 · Hanli (ER01-ER08/AO/FO)

Allarme livello di portata del liquido di raffreddamento del circuito della sorgente laser

Causes

  • Portata d'acqua insufficiente nel circuito della sorgente

Solutions

  1. Pulire il filtro a rete grossolana del liquido di raffreddamento
  2. Verificare i tubi flessibili
  3. Controllare il sensore di portata