ER01 · Hanli (ER01-ER08/AO/FO) إنذار مستوى تدفق سائل التبريد في دائرة مصدر الليزر. Causes انخفاض تدفق الماء في دائرة المصدر Solutions تنظيف فلتر التنقية الخشنة لسائل التبريدالتحقق من الخراطيمالتحقق من مستشعر التدفق